晶體單面拋光機(jī)
本機(jī)主要用于砷化鎵、硅片、碳化硅、藍(lán)寶石片、鍺片、鈮酸鋰、玻璃等硬脆材料,平行平面的單面高精度、高效率拋光。
該機(jī)采用觸摸界面及 PLC 控制。為用戶提供開(kāi)放式的圖形操控界面,充分發(fā)揮機(jī)械硬件性能;該機(jī)主傳動(dòng)具有傳動(dòng)鏈短、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn);四個(gè) PP 頭壓力單獨(dú)控制,單獨(dú)驅(qū)動(dòng),下盤(pán)采用循化冷卻水強(qiáng)制冷卻,溫度控制精確。